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结构型式:三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构 传动方式:直流伺服系统 预载荷高精度空气轴承 长度测量系统:RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm 测头系统:雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针 机 台:高精度(00级)花岗岩平台 使用环境:温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h 空气压力:0.4 MPa - 0.6 Mpa 空气流量:25 L/min 长度精度MPEe: ≤2.1 L/350 (μm) 探测球精度MPEp: ≤2.1μm
